기술소개서
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시장자료
특허구매 서식
본 기술은 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 계산하여 플라즈마를 진단할 수 있는 방법을 제공함. 플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터를 시뮬레이션할 때 계산효율과 정확도, 속도를 높일 수 있는 방법을 제공함.