우수기술동영상

저온 플라즈마 장비 해석용 Global Model

분야
소재·장비 분야
보유기관 및 연구자 :
한국핵융합에너지연구원 권득철
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개발상태 9/9
TRL 09 사업화
  • 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL 08 시작품 인증/
표준화
  • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
    • 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL 07 Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가
  • 시작품의 신뢰성 평가
  • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL 06 Pilot 단계 시작품
성능 평가
  • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
  • 시작품 성능평가
TRL 05 시제품 제작/
성능평가
  • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
  • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL 04 연구실 규모의
부품/시스템 성능평가
  • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
  • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL 03 연구실 규모의
성능 검증
  • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
  • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
  • 모델링/설계기술 확보
TRL 02 실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립
  • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL 01 기초 이론/
실험
  • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계

특허정보

플라즈마 장비의 시뮬레이션 방법 및 장치
(No : 10-2242572)
반도체공정용 플라즈마 장치의 공간 평균 시뮬레이터
(No : C-2012-009582)
기술문의

기술 개요

플라즈마 장비 해석용 글로벌 모델 기술은 반도체·디스플레이 공정에 필수적인 플라즈마 장비의 작동 원리를 정밀하게 해석할 수 있는 시뮬레이션 기술입니다. 고신뢰 데이터베이스와 전자 가열 모델, 센서 연동 기능을 갖추어 공정 최적화 및 맞춤형 해석 모듈 개발에 효과적으로 활용될 수 있는 기술입니다.


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기술소개자료(SMK)