사업화 유망기술(SMK) 자료집

플라즈마 장비 해석용 물성 데이터(반도체 장비 등)

플라즈마 장비 해석용 물성 데이터(반도체 장비 등)

기술분야 소재·장비 기술유형 DB특허
개발상태 TRL6 (파일럿 규모 테스트 완료) 거래유형 통상실시권
보유기관 한국핵융합에너지연구원 보유국가 대한민국
지식재산권 10-2299463, 10-2242572

기술 개요

본 기술은 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 계산하여 플라즈마를 진단할 수 있는 방법을 제공함.
플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터를 시뮬레이션할 때 계산효율과 정확도, 속도를 높일 수 있는 방법을 제공함.

기술소개자료(SMK)