사업화 유망기술(SMK) 자료집

모델링&시뮬레이션 기반 공정용 플라즈마 장비 해석 기술

모델링&시뮬레이션 기반 공정용 플라즈마 장비 해석 기술

기술분야 소재ㆍ장비 기술유형 특허
개발상태 TRL4(실험실 규모의 핵심성능 평가 완료) 거래유형 통상실시권
보유기관 한국핵융합에너지연구원 보유국가 대한민국
지식재산권 10-2299463, 10-2242572

기술 개요

본 기술은 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 계산하여 플라즈마를 진단할 수 있는 방법을 제공함.
플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터를 시뮬레이션할 때 계산효율과 정확도, 속도를 높일 수 있는 방법을 제공함.

기술소개자료(SMK)