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플라즈마 초정밀 연마방법 및 장치
플라즈마 초정밀 연마방법 및 장치
기술분야
소재ㆍ장비
기술유형
특허
개발상태
TRL4(실험실 규모의 핵심 성능 평가 완료)
거래유형
통상실시권
보유기관
한국핵융합에너지연구원
보유국가
대한민국
지식재산권
10-2016927
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기술 개요
본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술임.
기술소개자료(SMK)