사업화 유망기술(SMK) 자료집

ECR 플라즈마 발생장치 및 고품질 박막증착(스퍼터링) 기술

ECR 플라즈마 발생장치 및 고품질 박막증착(스퍼터링) 기술

기술분야 소재ㆍ장비 기술유형 특허
개발상태 TRL4(실험실 규모의 핵심성능 평가 완료) 거래유형 통상실시권
보유기관 한국핵융합에너지연구원 보유국가 대한민국
지식재산권 10-1677441, 10-1335187
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기술 개요

ECR 공명 자기장이 형성된 스퍼터링 타겟 표면 부근에 마이크로파(예, 2.45 GHz)를 입사시켜 플라즈마를 발생시키고, 타겟에 전압을 인가하여 스퍼터링을 구현하는 기술임.

기술소개자료(SMK)