사업화 유망기술(SMK) 자료집

대면적 고밀도 플라즈마 발생장치

대면적 고밀도 플라즈마 발생장치

기술분야 소재·장비 분야 기술유형 특허
개발상태 TRL4(실험실 규모의 핵심 성능 평가 완료) 거래유형 통상실시권
보유기관 한국핵융합에너지연구원 보유국가 대한민국
지식재산권 10-2022-0113477, 10-2022-0166500, 10-2022-0166849, 10-2022-0113586, 10-2023-0047939

기술 개요

본 기술은 고밀도, 고온, 대면적 자화 플라즈마 발생이 가능한 공진 도파관에 의한 플라즈마 발생장치에 관한 기술임.
복수의 튜너를 이용하여 플라즈마 균일도 조절이 가능하며, 고전력 전달이 가능한 플라즈마 발생원 장치를 제공함.

기술소개자료(SMK)