본 기술은 저진공(1~50Torr)마이크로웨이브 플라즈마 발생장치 기술을 제공함.
플라즈마를 이용한 분체의 코팅 및 처리가 가능하며, 장시간 운전이 가능한 기술임.(2.5KW, 6hr 연속동작 가능)