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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 1층 | |
| 모델명 | OmniProbe VHC | |
| 장비용도 | Solar cell 및 tft 소자의 특성(I-V, C-V, resistance)을 측정하기 위한 장비 Electrical divices의 전기적 특성을 측정하여 device의 이상 유무와 성능을 확인하는 장비로서, probe tip을 sample의 측정점에 접촉 시켜 외부 계측기에서 전기적 신호을 주고 feedback되는 신호를 측정함으로써 device의 이상 유무 및 소자의 전기적 특성을 측정 |
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| 주요사양 | OmniProbe Station - Optical optiocal microscope - Anti- Vibration opticla table - High Vacuum pumping option OmniProbe Station 은 진공상태에서 정밀하고 Smooth 하게 X,Y,Z 로 움직이는 Micropositioner를 장착하고 있어 Sample 간의 신속하고 정확한 측정이 가능하다. 또한 150*150mm sample stage에서 저온과 고온 실험을 할 수 있다. |
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