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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 플라즈마기술연구센터 연구동 L203호 | |
| 모델명 | UL-1000Fab | |
| 장비용도 | - 진공용기등의 진공도를 관찰하기 위해 헬륨 가스를 이용하여 진공 누설을 측정하기 위한 장비 - 보유중인 헬륨 리크 디텍터는 세계 최고 기술의 Preamplifier (180 Magnetic Field) 기술을 이용한 높은 안정적인 sensitivity를 구현 하여 높은 sensitivity로 인한 안정성이 높음 - 1*10E-12를 실질적으로 측정할 수 있는 Leak Detector로서 leak rate 측정 시 오차율이 작음 - Helium protection을 위한 vacuum system 설계 - Easy to operation Compact design Clean room suitable - Maintenance 주기가 긴 강화된 Ion Source 설치되어 ion source의 잦은 교체와 수리에 관한 추가적인 비용이 최소화되어 있음 - Noise 제거를 위한 I.CAL 이란 독자적인 기술을 적용하여 보다 안정적인 Leak rate를 확인할 수 있음 - 낮은 압력에서의 측정과 노이즈가 적은 안정적인 Leak rate를 확인 - Particle protection Helium contamination Overpressure protection 기능 등 자체 보호 기능이 포함되어 장비를 보호하는 기능이 있음 - 진공장비가 clean room에 설치될 경우 clean room 환경에 적합함 - 모든 측정 범위에서 측정된 노이즈로부터 신뢰할 수 있는 측정값과 빠른 적응 시간으로 인한 안정적인 leak rate를 확인할 수 있음 - 미세한 leak rate를 보다 빨리 측정하여 헬륨으로 leak rate를 체크한 후 정상적인 상태로 돌아오는 시간이 짧으며 이를 위해서 고진공 펌프가 구비 됨 - 운전하기 쉽고 사이즈가 작으며 이동성이 구비됨 |
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| 주요사양 | 유형 Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab 헬륨(진공 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s <5E-12 헬륨(진공 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s <5E-12 헬륨(스니퍼 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s 8E-8 최대 입구 압력 GROSS 모드 mbar 15 최대 입구 압력 FINE 모드 mbar 2 최대 입구 압력 ULTRA 모드 mbar 0.4 배출 중 펌핑 속도 m³/h 25 at 50 Hz 헬륨 펌핑 속도 GROSS 모드 L/s max. 8 헬륨 FINE 모드에 대한 흡입력 L/s 7 헬륨 ULTRA 모드 L/s 2.5 탐지 질량 2,3,4 amu 질량 분석기 섹터 필드 180° 필라멘트 이온원 이리듐/산화이트룸 코팅 2 보정된 내장 누설 mbar•L/s e-7 테스트 포트 DN 25 KF 1 조절식 트리거 2 인터페이스 RS 232 챠트 기록계 출력 V 2 x10 입력/출력 PLC compatible 허용 주위 온도(작동 중) °C +10.....+40 보호 유형 IP 20 중량 110 치수(LxWxH) 1068x525x850 공급 전압 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 공급 전압 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 공급 전압 V (ac) 230 (+-10% )50Hz 전력 소비 VA 1100 |
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| 장비사용 지원신청 |
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