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사중극자 질량 분석계(Quadrupole Mass Spectrometer)

장비상세페이지
보유기관 한국핵융합에너지연구원
보유지역 군산
보유실험실 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 2층 201
모델명 HAL/3F 201 RC
장비용도 - Ionization threshold spectroscopy 방식을 이용한 Dissociation된 neutral radical detection을 위한 장비

- Dissociation된 neutral radical을 측정하기 위해 Ionization threshold spectroscopy 방식을 적용하기 위한 장비

- 진공 용기 내의 가스종의 분석과 radical을 측정하는 데 사용한다.
주요사양 1) Quadrupole Mass Spectrometer
- Model - HAL/3F RC201 PIC
- Mass Range : 200 amu (or 300amu) is standard
(510 amu, 1000 amu are optional)
- Maximum Operation Pressure : 5 x 10-6 mbar
- Resolution : 5% Valley between adjacent peaks of equal height throughput the mass range.Software adjustable.
- Detector : Ion Counting Single Channeltron Multiplier digital detector
- Minimum Detectable Partial Pressure : 5 x 10-15 mbar
- Detector Dynamic Range : 7 decade continuous log scale.
- Measurement speed
․Maximum measurement speed : 500 measurements per second
․Trend Analysis : Typical up to 250 measurements per second
- Ion Source : Low profile ion source
- Filament : Twin filament. Oxide coated iridium is standard.
- Ion Source control
․Electron emission : Software variable 1 μ A to 2mA.
․1 mA is standard
․Electron energy : Software variable 0V to 150 eV.
․70 eV is standard
․Ion energy : Software variable 0V to 10 eV.
․3eV is standard
- Analyser mounting flange DN-63-CF (41/2"/114mm OD
Conflat-type)
- Analyser insertion length from mounting flange face HAL/3F PIC : 308mm
- RF head dimensions:
․Height - 137mm, Width - 335mm, Depth - 216mm
․Depth is distance from vacuum face of analyser mounting flange.
- RC interface unit dimensions :
․Height: 90mm/2U
․Width: 19" rack mounting
․Depth: 450mm
- Cable lengths
․RC interface to RF head : 3M standard. Longer lengths to 40m available
․RC interface to PC :
․Up to 15 metres with RS232 link.
․Up to 750 metres with unbridged Ethernet link.
․USB Cable, 5m Ethernet and 5m RS 232 Cables included
- PC Software : MASsoft Professional
- Power requirement : 110-120 VAC, 220-240 VAC, 0.25 KVA.

2) Penning Controller and gauge
- type 303805 with set point and output for interlock
- protection of the mass spectrometer detector in c
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