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기술상담신청 
| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 1층 102 | |
| 모델명 | EQP | |
| 장비용도 | - 플라즈마의 물성 기초 연구와 응용 기술을 위한 진단 기술에서 플라즈마로부터의 양이온이나 음이온 그리고 라디칼의 질량과 에너지 측정을 위한 진단 장비이다. 질량 측정 가능 range는 1000 amu 이며, 에너지 측정 가능 range는 1000 eV 이다. - Mass range가 1000 amu 까지 측정이 가능하고, 이온의 에너지가 1000 eV까지 측정이 가 능하여 일반적으로 산업체에서 사용되는 대부분의 공정용 gas에 의하여 생성되어진 플라즈마 상태에서의 양이온 및 음이온 그리고 래디컬의 질량 및 에너지를 측정 통한 실질적으로 적용 가능한 물성 기초 자료의 생산이 가능하고 이를 바탕으로 산업체에서 요구되어지는 플라즈마를 활용한 증착이나 에칭 등의 장비 개발 산업에 필요한 자료로 적용이 가능함. |
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| 주요사양 | ○ Mass Range : 1000 amu ○ Detector : Dual Faraday/electron multiplier detector ○ Energy Analyser : 45 sector field. Energy range 1000 eV ○ Ion Source : Electron impact ○ Mass Filter : 3 stages each of 4 poles. ○ Pole diameter : 9.00mm. ○ EQP Front end magnetic shielding to 500 Gauss |
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| 장비사용 지원신청 |
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