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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 3층 304 | |
| 모델명 | HDR-20 RD | |
| 장비용도 | - Quadripole Mess Spectrometer 란 4개의 전극기둥에 RF 전위를 주고 기둥의 사이로 이온화된 화학종을 핀홀을 통하여 통과하도록 하여 해당 화학종이 핀홀로 부터 기둥에 충돌할 때까지의 거리결과를 이용하여 화학종의 분자량 또는 원자량을 측정하여 정량하는 장치 - 이때 이온화된 입자는 RF 전위가 제공하는 전기장에 의하여 전극기둥 방향으로 Drift를 하게 되는데, 입자의 무게에 따라 전극기둥에 충돌하기 전까지 비행하는 거리가 달라짐 (무거운 입자는 더 멀리 비행) - 일반적으로 대상 가스는 Sampling 후 10-6 torr 의 진공 형성부에서 필라멘트 방전에 의하여 플라즈마 상태가 되어 가속되고 핀홀을 거쳐 QMS 영역으로 도입됨 - 대기압 (0~3bar) 플라즈마 발생원을 이용한 고체 (bulk, sheet, powder, particle) 표면처리 반응기작 연구 - 대기압플라즈마에서 대상 가스 종의 플라즈마 통과 전후 가스 조성 및 화학적 성분변화 분석 : 대기압 플라즈마 조건에서 NF3 가스 분해율 측정 - 플라즈마를 통과한 특정 활성종의 고체 Substrate 표면 반응 후 가스 상 Product 조성변화 분석 : 수지분말 친수처리 공정 중 표면 식각 반응 확인 (CO2 농도 증가) - 대기압 플라즈마 고체 표면처리 반응의 화학적 반응 기작 예측 및 확인 - 해당 공정에 적합한 반응 가스 예측 및 플라즈마 파라미터 획득을 통한 공정 최적화 |
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| 주요사양 | 1)측정 질량 범위 : 200 amu (현재 대기압 실험에 사용되는 대부분의 가스종이 200 amu를 초과하지 않음) 2)샘플링 위치 압력허용 범위 : 0~30bar (대기압 플라즈마 반응시스템 적용에 맞도록 배기가스 입출구 덕트, 또는 플라즈마 발생부, 소재반응부 등의 위치에 삽입형 Capillary Probe) 3)흄, 입자상 물질, 응축 가능한 기체 등이 혼재한 샘플링 조건에서 충분히 작동가능 4)측정 속도 : 최대 측정 속도 - 500 measurements per second 5)APSI-MS Soft ionisation mode 6)감도 : 100% ~ 100PPB (해당 가스상 활성종의 반응율 (처리전/후 가스농도 비율) 분석에 충분함) 7)검출기 (Detector) : 1x10-11 Torr - Faraday cup 검출기 5x10-14 Torr - Channeltron 검출기 (이온 전자 증배관) 8)경향 분석 : 250 measurements per second (실시간 Monitoring 필요함) 9)필라멘트 : Twin Filament, 산화물 코팅 iridium. 10)PC 연결 : RS232, USB 2.0, 10/100Base-T LAN. 11)무게 :40Kgs and external scroll pump : 23Kgs 12)일렉트론 에너지 : 기본으로 70 eV, 소프트웨어에서 4eV에서 150eV까지 조절 가능하고 0.1eV 단위로 조절 가능. (QMS 로 유입되는 이온빔 생성에너지 Level 조정을 통하여 본래의 분자상태 규명 위해 필요, Low energy-Low dissociation, High energy-High dissociation) |
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