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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 1층 | |
| 모델명 | Alpha-Step IQ | |
| 장비용도 | * 해당 장비는 플라즈마를 이용한 건식도금 장비 개발과 관련하여 제작되는 다양한 종류의 물질 두께를 관찰하기 위한 용도로 사용 1. Vertical Resolution : ≤ 0.1 A : 단차 (두께) 측정의 기본단위로 얇은 막을 측정할 경우 0.1 Angstroms 단위로 하기 때문에 보다 정밀한 측정을 할 수 있습니다. 측정을 나누는 최소 단위는 작으면 작을수록 보다 월등함. 2. stage Access Area : 150 x 80 mm : 예를 들어 직경이 150 mm 인 wafer (6 inch ) 를 stage 에 올려놓고 사용한다고 하면 AS IQ는 X-Y stage 만 이동시켜 전체의 Area 를 측정 할 수 있으나 ( 80mm 인 Y mm 측은 90 도 회전후 ), 100 x 100mm 의 stage 이동거리로는 sample을 손으로 다시 옮긴 후 재차 X-Y stage 를 조정하여야 합니다. 향후 큰 sample을 측정하여야 할 경우는 충분히 발생 할 수 있으리라 사료 됩니다. 3. CCTV Camera 배율 : 88~237배 의 조절로 크고 작은 Sample 의 위치를 찾는데 용이함. 4. Sample Rate : >1000 Hz : 초당 data 를 받아들이는 양을 말하며 하나하나의 data 를 연결하여 Profile 이 형성됩니다. 물론 형성된 Profiler를 이용하여 단차, 거칠기, 각도, 등 원하는 값을 갖습니다. Scan speed 와 밀접한 관계를 가지며 거칠기 및 scan 거리가 길며 보다 정확한 값을 갖기 위해서는 초당 검출 양이 많아야 됨은 당연한 일입니다. 5. Scanning Method : Bi-direction ( 양 방향 ) : 어떤 구조물의 형질에 따라 ( 예: MEMS ), 오른쪽에서 왼쪽으로, 왼쪽에서 오른쪽으로 측정을 해야 할 필요가 있습니다. ( 또한, 측정은 낮은 곳에서 높은 곳으로 측정하는 편이 용이함 ). 물론 90도 회전하여 측정하는 방식이 있으나 회전 후 정확한 위치를 찾는데 시간이 걸림. 6. 장비 문제시 자체 점검 Program 이 있음 ( System Check -Self Diagnostics Mode) 7. 장비운용 상태를 일자 별 시간 별 Log In Data로 분석할 수 있어서 Off line으로 장비상태를 쉽게 점검 가능함. 8. Vertical Measurement range : 550 um : 측정 가능한 두께범위는 가능한 한 큰 것이 만약을 대비하여 좋음. ( 선택사양 : 2000um 가능) 9. Reporting program : 측정 data를 가지고 같은 장비를 이용하여 Image 도 삽입하고 comment 도 삽입하여 측정보고 자료를 손쉽게 작성 할 수 있는 기능. 10. Multi- 측정 Cursor운용으로 ( 3 set 까지 가능) 한번에 3개의 단차 측정 가능함. 11. Operation/ service training 동영상 CD : 학교 및 연구소의 특성상 많은 학생 및 연구원들이 바뀔 때 마다 필수적인 동영상 Operation 및 service 교육 CD program 입니다. 12. Saved data retrieval : 시료를 사용하여 Profiler 을 구 한 후 단차 값을 save 한 후 향후에 같은 시료의 재 측정을 하지 않고 Profiler를 불러내 거칠기나 각도 등 많은 parameter 값을 구할 수가 있습니다. 상대방 장비는 두께측정값을 구한 후 거칠기등 다른 값을 구하기 위해서는 같은 시료를 재차 측정하여야 합니다. 13. Help Menu : Window Help menu 와 같이 장비 운용 중 모르는 사항이 발생할 때 언제던지 확인하여 장비운용에 전혀 문제가 없도록 합니다. |
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| 주요사양 | -KLA-Tencor, Alpha Step IQ Alpha-Step precision scanner standard vertical range to 400um with sub-angstrom electronic bit wise vertical resolution -Voltage Kit, 180~260V -Power Cord, cont. Europe / Korea -B/W Camera -Standard Optics, 88-247X -17 Inch Flat Panel LCD Monitor -Standard KLA-Tencor Warranty Standard KLA-Tencor 12 month warranty includes paπ5 and labor Coverage is 8 hours per day, 5 days per week. Warranty begins upon successful execution of the KLA Tencor standard field acceptance test, not to exceed 60 days from shipment unless delayed by KLA Tencor. Utilization of the system in production will immediately start warranty. |
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