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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 대전 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 연구기반설비동 4층 403 | |
| 모델명 | EM-30 | |
| 장비용도 | - 각종 재료의 미세구조를 분석하는데 사용되는 장비로서 철강 및 세라믹 재료의 결정크기 결정형상 결함 등을 관찰 및 분석 가능 - BSI(반사전자상) 모드를 이용하여 관찰을 할 경우에는 서로 다른 화합물들의 분산 상태 파악 가능 - 분말 상태 시료의 관찰도 가능하여 표면상태 및 형상 등의 분석을 수행 가능 |
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| 주요사양 | - 본 장비는 Table Top SEM으로서 진공 배기시간이 약 3분으로 아주 빠르며 mm부터 nm까지 고품질의 이미지를 얻을 수 있음 - 또한 시료 준비 및 조작법이 아주 간단하여 누구나 손쉽게 원하는 시료의 관찰이 가능함 - 전자총 시료관찰용 챔버 등으로 구성된 본체와 진공배기를 위한 진공펌프 장비 제어를 위한 PC로 구성 - 배율 : 최대 100000배_x000D_ - 분해능 : 5 nm_x000D_ - 가속전압 : 1 ~ 30 kV_x000D_ - 관찰모드 : SEI BSE |
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| 장비사용 지원신청 |
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