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| 보유기관 | 한국핵융합에너지연구원 |
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| 보유지역 | 군산 | |
| 보유실험실 | 국가핵융합연구소 플라즈마기술연구센터 1층 104 | |
| 모델명 | V-VASE | |
| 장비용도 | - 박막 및 처리되는 시편 등의 물질의 특성을 측정. - 물질의 타원편광 특성을 측정하여 물질의 두께, 굴절율 등의 광학 상수를 비파괴 방식으로 관찰. - 물질의 두께, 조성, 굴절율 등의 측정 및 분석 가능 |
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| 주요사양 | 1. VASE 기법 1) 광학적 구성 : RAE(Rotating analyzer ellipsometer) + AutoRetarder(computer controlled retarder) 2) 파장 선택 : scanning monochromator. 3) 디텍터 : photodiode with inergrated preamplifier using digital lockin hardware/software 2. Spectral Range : 193 to 2500nm 3. Spectral Resolution : 0.3Å 4. 측정속도 1) Typical : 0.1 to 3 sec / 1 wavelength 2) High Accuracy : 20 sec / 1 wavelength ( AutoRetarder full사용시) 5. Accuracy (straight-through, air scan) 1) Ψ = 45.00° ± 0.03°, tan(Ψ) = 1 ± 0.001 2) Δ = 0.00° ± 0.20°, cos(Δ) = 1 ± 0.000006 6. Repeatability 1) Ψ = ± 0.015°, tan(Ψ) = ± 0.00003 2) Δ = ± 0.08°, cos(Δ) = ± 0.000001 |
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| 장비사용 지원신청 |
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