ACE 통합지원센터

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중소기업기술상담(애로기술)
신청번호 TCR-2025-022 기관 - 한국핵융합에너지연구원 진행현황 취소
상담제목 Laser Grooving을 하려고 하는데 장비와 기술 사용이 어렵습니다.

1. 신청기업 현황

신청 기업

기업명 쏠라딘 대표자 송성훈
사업자번호 129-86-63881 대표전화 031-8027-2816
기업분류 중소기업 소재지 경기도화성시
인장

신청 담당자

성명 서*우 직책 선임
연락처 이메일
지원구분 기술 자문/지도

2. 신청 분야 및 내용

지원 신청 분야 애로기술 지원상담신청 내용
기술자문 / 지도 Laser grooving을 하려고 하는데 장비와 기술 사용이 어렵습니다.
장비활용 PSPI 도포 와 Laser grooving 장비
기술 정보 PSPI 도포 기술, PSPI를 Laser grooving을 통해 원하는 패턴으로 photo하는 기술
기타 PSPI에 Laser grooving을 통한 마스크 제작을 하는 것이 목적입니다. 한번 작성을 하였는데 아직 답변이 없어 다시 재 작성하였습니다.

3. 애로기술 요약서

애로기술명 PSPI에 Laser grooving을 통한 마스크 제작
내 용 개요 Laser grooving을 통해 마스크 없이 제작된 패턴으로 ICP를 통해 plasma dicing을 진행할 예정
필요성 마스크 제작을 매번 하지 않는 효과
기대효과 PR 도포 후 작업을 간소화하여 마스크 없이 레이저로 패턴닝 후 Plasma dicing이 가능
기존 기술의 문제점 photo 공정에 필요한 마스크 제작 등이 필요함
기타 특의사항 한국핵융합에너지연구원을 통해 예스티라는 업체에서 2021년3월에 plasma dicing을 실행했던 정보를 얻었는데 여기서 저희가 필요한 기술은 레이저를 이용한 패턴이 된 wafer를 만드는 것입니다.
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