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신청번호 | TCR-2025-022 | 기관 | - 한국핵융합에너지연구원 | 진행현황 | 취소 |
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상담제목 | Laser Grooving을 하려고 하는데 장비와 기술 사용이 어렵습니다. |
기업명 | 쏠라딘 | 대표자 | 송성훈 |
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사업자번호 | 129-86-63881 | 대표전화 | 031-8027-2816 |
기업분류 | 중소기업 | 소재지 | 경기도화성시 |
인장 |
성명 | 서*우 | 직책 | 선임 |
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연락처 | 이메일 | ||
지원구분 | 기술 자문/지도 |
지원 신청 분야 | 애로기술 지원상담신청 내용 |
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기술자문 / 지도 | Laser grooving을 하려고 하는데 장비와 기술 사용이 어렵습니다. |
장비활용 | PSPI 도포 와 Laser grooving 장비 |
기술 정보 | PSPI 도포 기술, PSPI를 Laser grooving을 통해 원하는 패턴으로 photo하는 기술 |
기타 | PSPI에 Laser grooving을 통한 마스크 제작을 하는 것이 목적입니다. 한번 작성을 하였는데 아직 답변이 없어 다시 재 작성하였습니다. |
애로기술명 | PSPI에 Laser grooving을 통한 마스크 제작 | |
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내 용 | 개요 | Laser grooving을 통해 마스크 없이 제작된 패턴으로 ICP를 통해 plasma dicing을 진행할 예정 |
필요성 | 마스크 제작을 매번 하지 않는 효과 | |
기대효과 | PR 도포 후 작업을 간소화하여 마스크 없이 레이저로 패턴닝 후 Plasma dicing이 가능 | |
기존 기술의 문제점 | photo 공정에 필요한 마스크 제작 등이 필요함 | |
기타 특의사항 | 한국핵융합에너지연구원을 통해 예스티라는 업체에서 2021년3월에 plasma dicing을 실행했던 정보를 얻었는데 여기서 저희가 필요한 기술은 레이저를 이용한 패턴이 된 wafer를 만드는 것입니다. | |
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