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상담신청현황 
| 신청번호 | TDR-2024-015 | 기관 | - 한국핵융합에너지연구원 | 진행현황 | 취소 |
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| 상담제목 | 반도체 공정으로부터 배출되는 미반응 물질의 pre-pump 플라즈마 처리 가능성 테스트 | ||||
| 제안형태 | 플라즈마/Feasibility Test |
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| 제안주제 | 반도체 공정 진공펌프 전단에서 미반응 물질 플라즈마 처리 |
| 분야 | 재료, 환경, 화학공정, 전기·전자 |
| 기업정보 | 기업명 | 케이케이테크(주) | 대표자명 | 김경하 |
|---|---|---|---|---|
| 설립일자 | 2006-03-10 | 기업형태 | 중견기업 | |
| 사업자등록번호 | 125-81-62167 | 상시종업원수 | 250 | |
| 주업종 | 진공펌프관련기기 | 홈페이지 | https://www.k-ktech.co.kr/ | |
| 주요생산제품 | 진공펌프 | |||
| 인장 | ||||
| 소재지 | 본사 | 경기 화성시 동탄대로23길 121 동탄우미뉴브 7층 | ||
| 공장 | 경기도 안성시 대덕면 무능로 132 | |||
| 재무 | 총자산 | 102 | 자기자본 | 67 |
| 매출액(당해년도) | 115 | 당기순이익 | 15 | |
| R&D 현황 | R&D 전담부서 유무 | 있음 | ||
| 연구소/부서명 | 기술팀 | 전담인원 | 6명 | |
| 실무담당자 | 성명 | 이*진 | 이메일 | |
| 부서명 | 기술팀 | 직위 | 팀장 | |
| 전화번호 | 휴대폰 | |||
| 신청기업 주요사항 |
2006년 설립된 저희 케이케이테크는 현재 연매출 평균 1,000억 이상의 중견기업으로 성장하였으며, 안성과 동탄에 각각 본사와 헤드오피스를 두고 있으며 메인 장비는 진공펌프입니다. | ||
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| 제품 및 보유기술 현황 |
제품현황: SDE, SDL, MU-X, MU-P/H, NeoDry Series 진공펌프 보유기술: 진공펌프장비(PCT/JP2023/012529) 등 |
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| 해당기술 개발의 한계점 |
반도체 공정에서 진공펌프로 배출되는 가스 중 미반응되는 유량이 상당히 많은 상황이며, 이로 인해 진공펌프의 수명이 현저히 감소되고 있음. 이를 해결할 수 있는 기술들이 개발되고 있으나 단점들이 극명하여 한계가 있음. | ||
| 수요기술 제안내용 |
진공펌프 수명연장을 위한 플라즈마 발생장치 개발 | ||
| 기업의 연구성과 활용방안 |
반도체 공정 진공펌프의 수명 증대 및 생산성 향상 진공펌프 수명 증대로 인한 유지 비용 절감 탄소 배출 저감을 통한 탄수 중립 실현 |
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| 기술이전 의향 여부 | 있음 | ||
| 기업투자내역 | 예 산 | 10억 | |
| 인 력 | 6명 + @ | ||
| 장비 / 재료 | 가스분석장치, 플라즈마 테스트배드 | ||
| 테스트 샘플 | CF4, NF3 | ||
| 첨부파일 | |||
