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상담신청현황 
| 신청번호 | TDR-2025-003 | 기관 | - 한국핵융합에너지연구원 | 진행현황 | 취소 |
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| 상담제목 | 반도체 공정으로부터 배출되는 미반응 물질의 플라즈마 전처리 기술 상용화R&D | ||||
| 제안형태 | 플라즈마/상용화 R&D |
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| 제안주제 | 반도체 공정 진공펌프 전단에서 미반응 물질 플라즈마 처리 상용화R&D |
| 분야 | 환경, 화학공정 |
| 기업정보 | 기업명 | 케이케이테크(주) | 대표자명 | 김경하 |
|---|---|---|---|---|
| 설립일자 | 2006-03-10 | 기업형태 | ||
| 사업자등록번호 | 125-81-62167 | 상시종업원수 | 250 | |
| 주업종 | 진공펌프관련기기 | 홈페이지 | https://www.k-ktech.co.kr/ | |
| 주요생산제품 | 진공펌프 | |||
| 인장 | ||||
| 소재지 | 본사 | 경기 화성시 동탄대로23길 121 동탄우미뉴브 7층 | ||
| 공장 | 경기도 안성시 대덕면 무능로 132 | |||
| 재무 | 총자산 | 102 | 자기자본 | 67 |
| 매출액(당해년도) | 115 | 당기순이익 | 15 | |
| R&D 현황 | R&D 전담부서 유무 | 없음 | ||
| 연구소/부서명 | 기술1팀/개발파트 | 전담인원 | 7명 | |
| 실무담당자 | 성명 | 이*진 | 이메일 | |
| 부서명 | 기술1팀 | 직위 | 팀장 | |
| 전화번호 | 휴대폰 | |||
| 신청기업 주요사항 |
케이케이테크는 2006년 설립되었으며, 동탄과 안성에 각각 헤드오피스와 공장을 두고 있습니다. 2021년에는 중견기업으로 승격되었으며, 주요 고객으로 삼성전자와 SK 하이닉스가 있습니다. 평균 매출액은 1000-1500억 정도이며, 지속적으로 성장해나가고 있습니다. |
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| 제품 및 보유기술 현황 |
- 제품현황: SDL, MU-X, MU-P/H, SDE, NEODRY 진공펌프 등 - 보유기술: 진공펌프 제조 및 개발, 플라즈마 장치 연구개발 |
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| 해당기술 개발의 한계점 |
- 반도체 공정에서 다양한 Metal 전구체가 사용됨에 따라 진공펌프 쪽으로 처리되지 않은 미반응 및 유해 물질이 대량 유입되고 있는 실정임. - 이에 따라 진공펌프의 수명은 단축되고 진공의 안정성이 확보되지 않는 문제가 있음 - 따라서 이를 해결하기 위해 진공펌프와 반도체 장비 사이에 전처리가 가능한 플라즈마 장치가 필요함. - 기존에 몇몇 업체들이 전처리 장치를 개발하였으나, 아직까지 내구성이나 성능이 확보되지 않은 상태임. |
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| 수요기술 제안내용 |
- 마이크로웨이브 플라즈마를 이용하여 미반응 및 유해 물질의 처리를 하고자 함. - 공정가스 내 Metal 전구체의 산화반응을 통한 산화물의 합성이 목적임. |
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| 기업의 연구성과 활용방안 |
- 반도체 공정 진공펌프의 수명 증대 및 생산성 향상 - 진공펌프 수명 증대로 인한 유지 비용 절감 - 탄소 배출 저감을 통한 탄소 중립 실현 |
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| 기술이전 의향 여부 | 있음 | ||
| 기업투자내역 | 예 산 | 10억 | |
| 인 력 | 7명 + @ | ||
| 장비 / 재료 | FT-IR, 열화상카메라, RGA, 가스 주입 시스템, 전자파 플라즈마 발진 시스템 등 | ||
| 테스트 샘플 | CF4, NF3, Cp-Zr, N2O 등 | ||
| 첨부파일 | |||
