ACE 통합지원센터

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기술개발지원(R&D/F-Test)
신청번호 TDR-2024-002 기관 - 한국핵융합에너지연구원 진행현황 취소
상담제목 스퍼터링 장치 기반 마이크로파 런처 개발 건

1. 신청개요

제안형태 플라즈마/상용화 R&D
제안주제 ECR 플라즈마 기반 스퍼터링 장치의 마이크로파 런처 개발
분야 기계

2. 기업현황

기업정보 기업명 (주)아바코 대표자명 김광현
설립일자 2000-01-16 기업형태 중견기업
사업자등록번호 503-81-43827 상시종업원수 411
주업종 디스플레이 제조용 기계 제조업 홈페이지 www.avaco.co.kr
주요생산제품 평판디스플레이(FPD)제조 설비, 반도체 및 태양전지 제조 장비 제조, 판매, 개발
인장
소재지 본사 대구광역시 달서구 성서4차첨단로 160-7 (주)아바코
공장
재무 총자산 277518 자기자본 167494
매출액(당해년도) 214493 당기순이익 18419
R&D 현황 R&D 전담부서 유무 있음
연구소/부서명 중앙연구소 연구개발팀 전담인원 9
실무담당자 성명 박*우 이메일
부서명 중앙연구소 직위 담당
전화번호 휴대폰

제안서 상세내용

신청기업
주요사항
(주)아바코는 2000년 설립 이후 국내 최초 TFT, C/F Sputter 장비 개발을 통해 상용화를 하였으며, 반도체용 Sputter 설비 및 이차 전지 자동화 시스템 등을 개발, 제조하고 있음
제품 및 보유기술
현황
대면적 디스플레이 및 반도체용 Sputter 설비 개발을 통한 상용화 기술을 보유하고 있으며, 국내의 LG디스플레이를 비롯하여 중화권 다수의 디스플레이 패널사를 고객사로 두고 있음
해당기술 개발의
한계점
스퍼터링 설비를 기반으로 한 마이크로파 장치는 8G급 대면적 구현 시 마이크로파를 균일하게 공급할 수 없는 기술적 한계를 지니고 있음
수요기술
제안내용
- 2.45GHz 마이크로파가 입사 시 반사파가 최소화될 수 있는 슬롯형 Electrode 타입 런처 제작 평가
- 다수의 SSPA에서 전달되는 마이크로파가 서로 간섭없이 균일하게 분배될 수 있는 런처 개발
- 마이크로파가 인가되는 동축케이블 및 커넥터의 Burning 이슈를 해결 가능하도록 한 최적의 런처 설계 및 평가
기업의
연구성과
활용방안
마이크로파 장치가 결합된 스퍼터링 설비는 하지막 손상 저감 등의 대면적 OLED용 디스플레이 분야에서 활용될 수 있으며, 기존 도파관 타입의 연구용 마이크로파 스퍼터링 설비를 수주, 판매한 이력이 있는 중국 디스플레이 패널사에 제안하여 추가 수주로 이어질 수 있음
기술이전 의향 여부 있음
기업투자내역 예 산
인 력 아바코 개발 실무 담당자
장비 / 재료 R&D용 5G급 Sputter 장비 및 평가용 Glass, wafer 기판
테스트 샘플
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