| 기업명 |
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| 대표명 (CEO) |
이창석 |
| 대표전화 (Phone) |
02-2109-8871 |
이메일 (E-mail) |
sales@ksp.co.kr |
| 홈페이지 (Web Site) |
www.ksp.co.kr |
주소
(ADD.) |
서울특별시 구로구 디지털로 273, 402호 |
주요생산품
Major Product |
SM245N&SM642N&SM303N Spectrometer |
주요 사업분야
(Major Business) |
기계·소재 |
기업 소개
(Company Info.) |
코리아스펙트랄프로덕츠(주)는 2003년 광계측 및 분광분석 기술 국산화를 기반으로 창업하여 핵심 원천 기술 확보를 통한 세계 유수의 반도체 메이커 및 장비 센서 기업들에 분광 센서들을 공급해왔으며 광 진단 장비를 널리 활용할 수 있도록 학계 등과 연계하여 산업 생태계 구축 및 국내외 반도체 디스플레이 산업 분야와 환경 계측 분야 광 측정 시장을 선도하고 있는 소재부품 전문 기업입니다. |
제품(1)
Product(1) |
SM245N&SM642N&SM303N Spectrometer |
제품설명
Description |
- 당사 모든 분광기는 종류관계 없이 다채널(multichannel) 동시 운용 가능
- 별도의 컨트롤러를 사용하지 않고 원격 OES 데이터 전송
- Fail Rate가 매우 낮고 자동 Reconnection 가능
- 공정 모니터링 및 진단 인자 자체 계산 및 제공(고도화) |
제품 사진
Product photo |
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제품(2)
Product(2) |
SM304 Spectrometer |
사용용도
Use of Product |
근적외선 분광법을 이용한 성분 분석, High Thickness Film 측정, 실시간 가스 정량 분석 |
제품설명
Description |
- 플라즈마 공정에서 발생하는 view port cloud effect에 대하여 장시간 사용 가능
- 확장된 파장 대역 OES 진단용 정보 제공(up to 2.5 um)
- High Thickness Film에 대한 박막 특성 측정. SE/SR 측정용 분광 센서로 활용
- 각종 물질에 대한 정량 성분 분석(액상 물질 및 chemical 포함) 및 상태 모니터링 |
제품사진
Product photo |
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제품(3)
Product(3) |
SM301 Spectrometer |
사용용도
Use of Product |
실시간 중적외선 스펙트럼 분석 |
제품설명
Description |
- 흡광 가스 정량 분석,공정제어 수분 분석, 공정제어 재료분석, Flame 분석
- 응용 분야 –적외선 레이저/환경/의료/식품/약학/제품제조/국방/항공 |
제품사진
Product photo |
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보유기술 (1)
Technology |
실시간 반도체 제조 공정 진단 및 모니터링(Semiconductor&Display Manufacturing Process Diagnostics&Monitoring) |
기술 설명
Description |
반도체/디스플레이 공정 모니터링 및 진단 시스템(OES 시스템)기술력 확보로 외기 유입에 의한 Leakage를 실시간 모니터링 및 검출이 가능하고 Etch와 Cleaning 공정에서 최적의 End Point Detection(EPD), 공정 조건변화에 따른 실시간 공정가스 변화 및 상태 모니터링 및 가스온도, 전자온도, 전자밀도 등 플라즈마 주요 인자(PI) 분석이 가능합니다. |
보유기술 (2)
Technology(2) |
물질 성분 분석(Material Analysis) |
기술설명
Description |
물질 성분 분석기술 보유로 라만(Raman) 및 PL(형광/인광) 분석 그리고 타원평광분석(Ellipsometry)을 이용한 박막의 두께와 굴절률 분석 등 다양한 물질 성분 분석용 광 센서 |
기술설명
Description |
성분검사 및 상태진단 기술을 이용하여 고속 단일/멀티채널 혈액 검사 및 진단 시스템용 분광 센서 근적외선 분광광도계 기반 액비 성분 분석기(액상 시료 분석 가능) 고정밀 DNA 농도 및 성분 분석용 분광 센서 기술 등을 보유하고 있습니다. |
첨 부
Attachment |
 (주)코리아스펙트럴덕츠.pdf
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