| 기업명 |
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| 대표명 (CEO) |
성 빈 |
| 대표전화 (Phone) |
031-8011-2380 |
이메일 (E-mail) |
semicom2@semikom.co.kr |
| 홈페이지 (Web Site) |
www.semikom.co.kr |
주소
(ADD.) |
경기도 이천시 대월면 경충대로2050번길 92 |
주요생산품
Major Product |
Wafer measurement system(웨이퍼측정시스템) |
주요 사업분야
(Major Business) |
반도체 |
기업 소개
(Company Info.) |
산업전반 및 특히 반도체에 사용하는 온도, 유량, 진공, 플라즈마 등의 측정 및 제어의 핵심 부품에 대한 오랜 경험과 축적된 기술 노하우를 바탕으로 고객과 함께합니다. 본사 및 광주에 일부 생산공장이 있으며, 청주 및 중국 Wuxi 지사가 있습니다. 빠른 속도로 성장해 가고 있는 IT부품 산업 시장에서 창조, 도전 정신을 바탕으로 최고의 제품과 최상의 고객 서비스를 위해 회사의 모든 역량을 집중하고 있습니다. |
제품(1)
Product(1) |
Wafer measurement system(웨이퍼측정시스템) |
제품설명
Description |
반도체 Sing 챔버 내부의 히터 온도를 측정하기 위해 Wafer TC의 온도를 블루투스 통신을
통해서 확인 |
제품 사진
Product photo |
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제품(2)
Product(2) |
Thermocouple(열전대) |
사용용도
Use of Product |
Furnace/Heater 내부온도 profile을 정밀하게 측정 |
제품설명
Description |
확산공정 등 반도체 주요공정 챔버내부의 온도를 0~1650℃ 범위 내에서 정밀하게 측정하는 온도센서 |
제품사진
Product photo |
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제품(3)
Product(3) |
Cutoff probe plasma sensor (탐침형 플라즈마 센서) |
사용용도
Use of Product |
반도체 챔버 내부 플라즈마밀도(전자밀도)의 절대값을 측정 |
제품설명
Description |
반도체 챔버 내부의 플라즈마 공간분포를 정밀하게 측정 가능하도록 자동제어 기능이 추가되어진 측정시스템 |
제품사진
Product photo |
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제품(4)
Product(4) |
Heater Jacket(히터자켓) |
사용용도
Use of Product |
배관을 일정온도로 Heating 함으로 배관내 powder 생성방지 |
제품설명
Description |
제조공정 장비의 Pump, Scrubber 및 배관부위에서 생성되는 powder를 억제시키기위해 일정
온도로 Heating·유지시킴 |
제품사진
Product photo |
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보유기술 (1)
Technology |
공정플라즈마 밀도·균일도 측정기술 |
기술 설명
Description |
플라즈마 주파수 측정방식으로 플라즈마 밀도 절대값 측정기술(측정불확도 2%, 세계최고수준)(‘22 3월 표준연과 기술이전계약 체결완료) |
첨 부
Attachment |
 (주)쎄미콤.pdf
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