ACE 통합지원센터

패밀리기업현황

기업명	코리아스펙트랄프로덕츠(주)
대표명 (CEO)	이창석
대표전화 (Phone)	02-2109-8871	이메일 (E-mail)	sales@ksp.co.kr
홈페이지 (Web Site)	www.ksp.co.kr
주소 (ADD.)	서울특별시 구로구 디지털로 273, 402호
주요생산품 Major Product	SM245N&SM642N&SM303N Spectrometer
주요 사업분야 (Major Business)	기계·소재
기업 소개 (Company Info.)	코리아스펙트랄프로덕츠(주)는 2003년 광계측 및 분광분석 기술 국산화를 기반으로 창업하여 핵심 원천 기술 확보를 통한 세계 유수의 반도체 메이커 및 장비 센서 기업들에 분광 센서들을 공급해왔으며 광 진단 장비를 널리 활용할 수 있도록 학계 등과 연계하여 산업 생태계 구축 및 국내외 반도체 디스플레이 산업 분야와 환경 계측 분야 광 측정 시장을 선도하고 있는 소재부품 전문 기업입니다.
제품(1) Product(1)	SM245N&SM642N&SM303N Spectrometer
제품설명 Description	- 당사 모든 분광기는 종류관계 없이 다채널(multichannel) 동시 운용 가능 - 별도의 컨트롤러를 사용하지 않고 원격 OES 데이터 전송 - Fail Rate가 매우 낮고 자동 Reconnection 가능 - 공정 모니터링 및 진단 인자 자체 계산 및 제공(고도화)
제품 사진 Product photo
제품(2) Product(2)	SM304 Spectrometer
사용용도 Use of Product	근적외선 분광법을 이용한 성분 분석, High Thickness Film 측정, 실시간 가스 정량 분석
제품설명 Description	- 플라즈마 공정에서 발생하는 view port cloud effect에 대하여 장시간 사용 가능 - 확장된 파장 대역 OES 진단용 정보 제공(up to 2.5 um) - High Thickness Film에 대한 박막 특성 측정. SE/SR 측정용 분광 센서로 활용 - 각종 물질에 대한 정량 성분 분석(액상 물질 및 chemical 포함) 및 상태 모니터링
제품사진 Product photo
제품(3) Product(3)	SM301 Spectrometer
사용용도 Use of Product	실시간 중적외선 스펙트럼 분석
제품설명 Description	- 흡광 가스 정량 분석,공정제어 수분 분석, 공정제어 재료분석, Flame 분석 - 응용 분야 –적외선 레이저/환경/의료/식품/약학/제품제조/국방/항공
제품사진 Product photo
보유기술 (1) Technology	실시간 반도체 제조 공정 진단 및 모니터링(Semiconductor&Display Manufacturing Process Diagnostics&Monitoring)
기술 설명 Description	반도체/디스플레이 공정 모니터링 및 진단 시스템(OES 시스템)기술력 확보로 외기 유입에 의한 Leakage를 실시간 모니터링 및 검출이 가능하고 Etch와 Cleaning 공정에서 최적의 End Point Detection(EPD), 공정 조건변화에 따른 실시간 공정가스 변화 및 상태 모니터링 및 가스온도, 전자온도, 전자밀도 등 플라즈마 주요 인자(PI) 분석이 가능합니다.
보유기술 (2) Technology(2)	물질 성분 분석(Material Analysis)
기술설명 Description	물질 성분 분석기술 보유로 라만(Raman) 및 PL(형광/인광) 분석 그리고 타원평광분석(Ellipsometry)을 이용한 박막의 두께와 굴절률 분석 등 다양한 물질 성분 분석용 광 센서
기술설명 Description	성분검사 및 상태진단 기술을 이용하여 고속 단일/멀티채널 혈액 검사 및 진단 시스템용 분광 센서 근적외선 분광광도계 기반 액비 성분 분석기(액상 시료 분석 가능) 고정밀 DNA 농도 및 성분 분석용 분광 센서 기술 등을 보유하고 있습니다.
첨 부 Attachment	(주)코리아스펙트럴덕츠.pdf

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