기업명 |
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대표명 (CEO) |
장동복 |
대표전화 (Phone) |
031-612-3333 |
이메일 (E-mail) |
jekim@yest.co.kr |
홈페이지 (Web Site) |
www.yest.co.kr |
주소 (ADD.) |
경기도 평택시 진위면 마산12로 27 |
주요생산품 Major Product |
Oxide furnace |
주요 사업분야 (Major Business) |
반도체 |
기업 소개 (Company Info.) |
예스티는 끝없는 도전정신과 가치 창출로 다함께 미래를 설계하고자 하는 21세기 디스플레이(OLED)/반도체 전열장비의 메카인 전열장비 전문회사입니다. 2000년 창업 이래 안정적인 사업 포트폴리오를 통한 균형적인 사업 구조를 기반으로 지속적으로 성장하고 있습니다. |
제품(1) Product(1) |
Oxide furnace |
제품설명 Description |
열처리 진행으로 산화물 TFT 내의 화학적 반응으로 자유전자 생성으로 전기적 특성 향상 공정 장비 |
제품 사진 Product photo |

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제품(2) Product(2) |
고진공 챔버용 정전기 제거 장치 |
사용용도 Use of Product |
정전기 제거 |
제품설명 Description |
기판 내 유기물 손상 및 불순물에 대한 영향이 없는 고진공 환경에 적용 가능한 정전기 제거 장치 |
제품사진 Product photo |

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제품(3) Product(3) |
Maskless Plasma dicing machine |
사용용도 Use of Product |
플라즈마 다이싱 |
제품설명 Description |
20㎛ 이하의 절단폭을 갖는 초박형 웨이퍼를 플라즈마를 이용한 다이싱 공정 장비 |
제품사진 Product photo |

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보유기술 (1) Technology |
열원 제어 |
기술 설명 Description |
- 예스티만의 다양한 영원제어 기술 확보
- 극저온에서 고온용까지 개발 완료
- 우수한 균일도(500℃±3℃) 구현 |
보유기술 (2) Technology(2) |
정전기 제거 기술 |
기술설명 Description |
유기물 및 불순물 손상에 대한 영향 없이 고진공 환경에서 제전 가능한 기술 개발 완료 |
기술설명 Description |
ㅇ SCU 냉각
- 초저온 신기술 냉각장치 개발
- 빠른 쿨링 속도 구현(95℃ →40℃/5분)
ㅇ 플라즈마 다이싱
- 300mm wafer 가공이 가능한 고품질, 고식각 플라즈마 에칭 기술 개발 완료 |
첨 부 Attachment |
(주)예스티.pdf
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