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유망기술소개(SMK)
기술명 (1-2) 플라즈마 버너를 이용한 난분해성 가스분해 장치
기술완성도(TRL) TRL5
주발명자 홍용철, 천세민
출원번호 10-2020-0090788 출원일 2020-07-22
등록번호 10-2389362 등록일 2022-04-18
연구분야 대기압 플라즈마, 수중 플라즈마, Microwave, 환경오염
관련 특허번호 10-2020-0090788pdf10-238936210-173489910-1336614
기술개요 • 본 기술은 플라즈마를 활용하여 기존 버너보다 높은 온도의 화염을 생성하고 산업 공정에서 발생되는 다양한 유해가스 (난분해성 폐가스, 복합악취가스 및 대기오염원)를 고온산화시킬 수 있는 범용적 기술임.
• 폐가스 및 악취가스 분해를 위한 기존 플라즈마 반응기를 개선하고 피처리가스를 효율적으로 반응시킬 수 있는 대용량 플라즈마 열산화기에 관한 기술임.
기술적 개선점 • 피처리가스 정화공간과 정화공간 상부에 배출구를 갖는 가스분해 반응기 및 피처리가스를 플라즈마 화염과 접촉시키면서 정화공간으로 주입시키는 덕트 일체형 플라즈마 버너모듈을 제공함.
• 피처리가스를 분해하는 반응기 내에서 피처리가스의 원활한 와류 형성 및 배출이 구현되도록 하여 폐가스의 플라즈마 처리 효율을 높임.
• 플라즈마 버너는 일반 버너보다 높은 화염온도를 유지하며, 많은 유량의 피처리가스가 주입되어도 플라즈마 화염이 흔들림 없이 안정적으로 형성 및 토출될 수 있음.
시장전망 • 온실가스는 주로 이산화탄소와 메탄이지만, 실질적으로 지구 온난화 지수가 높고 분해가 매우 어려운 Lifetime을 가진 난분해성 가스들의 영향이 매우 높음.
• 이 중 SF6(육불화황)는 이산화탄소보다 평균 2만 2000배 높은 지구 온난화지수를 가지며, 반도체 생산 공정에서 다량 사용되어 지속적으로 사용량이 증가하고 있음.
• 고온에서도 잘 분해되지 않는 난분해성 가스들의 사용량은 산업 발달에 따라 지속적으로 증가할 것으로 예상되어, 향후 온실가스 감축시장 규모는 더욱 커질 것으로 예상됨.
기술사진 및 설명1
기술사진 및 설명2
응용분야 • 난분해성 폐가스, 복합 악취가스 분해
• 가스정제 및 개질, 이산화탄소 자원화
• 이외 RTO, 스크러버 등 다양한 산업분야 적용 가능
예상설비구축비용 설비 및
이전예상소요시간
참고 자료 pdf1-2_플라즈마_버너를_이용한_난분해성_가스분해_장치.pdf
기술문의 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr