ACE 통합지원센터

핵융합·플라즈마 관련 중소기업 기술지원을 위한 혁신성장 플랫폼입니다

기업맞춤형 기술지원, 정책뉴스, 지원사업소개, 유망기술 제공 등
다양한 기업지원 정보제공을 위해 노력하겠습니다.

유망기술소개(SMK)
기술명 (2-6) 초정밀 원자층 연마 방법 및 장치
기술완성도(TRL) TRL5
주발명자 최용섭
출원번호 10-2017-0144433 출원일 2017-11-01
등록번호 10-2016927 등록일 2019-08-27
연구분야 산업체 응용 플라즈마 발생원 개발 및 환경개선 융복합기술 연구
관련 특허번호 10-2017-0144433pdfPCT/KR2018/013178
기술개요 • 본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술임.
기술적 개선점 • 실리콘 카바이드와 같은 경도가 높고 화학적으로 매우 안정적인 제품의 표면을 국소적으로 원자층 단위로 제거하여 보정가공 연마가 가능함.
• 우주광학부품 및 초정밀 광학 부품의 경우 이온빔을 이용하여 최종 보정가공 연마를 수행하는데 이때 높은 이온빔에너지에 의해서 하부결정구조가 손상됨. 반면 본 기술은 원자층 단위로 연마하여 하부층 손상이 전혀 없이 가공이 가능함.
• 분사부가 자유롭게 이동되어 원하는 연마지점을 연마할 수 있으며, 불활성 가스이온을 분사하는 플라즈마 직격을 제어하여 연마영역을 제어할 수 있음.
시장전망 • SiC 전력소자 시장은 2017년부터 2023년까지 연평균 31% 성장하여 2023년 15억 8,000만 달러에 이를 것으로 전망됨.
• 세계 우주 시장 규모는 2017년 기준 3,480억 달러에서 2019년 급성장하여 2040년 1조 1,000억 달러 규모로 성장이 전망됨.
• 국내 우주 산업은 2016년 2조 7,000억 원에서 2021년 3조 7,000억 원으로 확대할 계획을 발표함.
기술사진 및 설명1
기술사진 및 설명2
응용분야 • 인공위성 주요부품인 자유형상 초정밀 광학계 가공
• 우주광학 및 첨단 부품 소재 가공공정
예상설비구축비용 설비 및
이전예상소요시간
10개월
참고 자료 pdf2-6_초정밀_원자층_연마_방법_및_장치.pdf
기술문의 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr