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| 기술명 | (2-6) 초정밀 원자층 연마 방법 및 장치 | ||
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| 기술완성도(TRL) | TRL5 | ||
| 주발명자 | 최용섭 | ||
| 출원번호 | 10-2017-0144433 | 출원일 | 2017-11-01 |
| 등록번호 | 10-2016927 | 등록일 | 2019-08-27 |
| 연구분야 | 산업체 응용 플라즈마 발생원 개발 및 환경개선 융복합기술 연구 | ||
| 관련 특허번호 |
10-2017-0144433 PCT/KR2018/013178
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| 기술개요 | • 본 기술은 실리콘 카바이드와 같은 두 가지 원소 결정 물질을 원자층 단위로 연마할 수 있게 한 새로운 원자층 연마 시스템 및 연마 방법에 관한 기술임. | ||
| 기술적 개선점 | • 실리콘 카바이드와 같은 경도가 높고 화학적으로 매우 안정적인 제품의 표면을 국소적으로 원자층 단위로 제거하여 보정가공 연마가 가능함. • 우주광학부품 및 초정밀 광학 부품의 경우 이온빔을 이용하여 최종 보정가공 연마를 수행하는데 이때 높은 이온빔에너지에 의해서 하부결정구조가 손상됨. 반면 본 기술은 원자층 단위로 연마하여 하부층 손상이 전혀 없이 가공이 가능함. • 분사부가 자유롭게 이동되어 원하는 연마지점을 연마할 수 있으며, 불활성 가스이온을 분사하는 플라즈마 직격을 제어하여 연마영역을 제어할 수 있음. |
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| 시장전망 | • SiC 전력소자 시장은 2017년부터 2023년까지 연평균 31% 성장하여 2023년 15억 8,000만 달러에 이를 것으로 전망됨. • 세계 우주 시장 규모는 2017년 기준 3,480억 달러에서 2019년 급성장하여 2040년 1조 1,000억 달러 규모로 성장이 전망됨. • 국내 우주 산업은 2016년 2조 7,000억 원에서 2021년 3조 7,000억 원으로 확대할 계획을 발표함. |
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| 기술사진 및 설명1 |
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| 기술사진 및 설명2 |
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| 응용분야 | • 인공위성 주요부품인 자유형상 초정밀 광학계 가공 • 우주광학 및 첨단 부품 소재 가공공정 |
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| 예상설비구축비용 | 설비 및 이전예상소요시간 |
10개월 | |
| 참고 자료 |
2-6_초정밀_원자층_연마_방법_및_장치.pdf
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| 기술문의 | 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr | ||
