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| 기술명 | (2-15) 모델링 & 시뮬레이션 기반 공정용 플라즈마 장비 해석 기술 | ||
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| 기술완성도(TRL) | TRL4 | ||
| 주발명자 | 권득철 | ||
| 출원번호 | 10-2020-0049306 | 출원일 | 2020-04-23 |
| 등록번호 | 10-2299463 | 등록일 | 2021-09-01 |
| 연구분야 | 플라즈마 모델링 및 시뮬레이션 | ||
| 관련 특허번호 |
10-2020-0049306 10-224257210-2020- 003632910-2020- 0049307
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| 기술개요 | • 본 기술은 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 계산하여 플라즈마를 진단할 수 있는 방법을 제공함. • 플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터를 시뮬레이션할 때 계산효율과 정확도, 속도를 높일 수 있는 방법을 제공함. |
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| 기술적 개선점 | • 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 비교적 측정이 용이한 플라즈마 변수를 측정한 후 공간 평균한 이온 온도 방정식을 풀어 계산함으로써, 종래 측정이 용이하지 않던 이온 온도에 대한 해석이 가능함. • 플라즈마 장비 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이션 수행 시 고려해야 하는 반응과 종을 최소화하여 계산효율을 높이고 계산시간을 감소시키는 방법을 제공함. • 또한, 플라즈마 입력데이터에 대한 오류를 확인하여 사용자에게 입력 오류 내역을 제공할 수 있는 방법과 플라즈마 시뮬레이터에서 반복 계산 중 플라즈마 수렴성을 확인하면서 전자가 흡수한 파워를 계산하는 모듈의 호출 여부를 결정하여 계산속도를 향상시키는 방법을 제공함. |
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| 시장전망 | • 세계 반도체 시장은 수요 둔화와 단가 하락으로 주춤하였던 2019년에 비하여 서버와 모바일 수요 상승으로 무선통신 산업과 글로벌 기업의 온라인 서비스 주도권 확보에 기여하면서 다시 시장의 수요가 상승하기 시작함. • 2021년 이후의 세계 반도체 시장 또한 지속적으로 상승하고 있으며, 국내 반도체 시장의 경쟁력 강화를 위하여, 기존의 엔지니어 경험에 의존하던 개발방식에서 벗어나 시뮬레이션 기반 장비 설계 기술의 필요성이 대두됨. |
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| 기술사진 및 설명1 |
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| 기술사진 및 설명2 |
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| 응용분야 | • 플라즈마 장비의 진단 및 해석 • 플라즈마 장비 시뮬레이션 |
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| 예상설비구축비용 | 설비 및 이전예상소요시간 |
6개월 | |
| 참고 자료 |
2-15_모델링시뮬레이션_기반_공정용_플라즈마_장비_해석_기술.pdf
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| 기술문의 | 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr | ||
