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유망기술소개(SMK)
기술명 (2-15) 모델링 & 시뮬레이션 기반 공정용 플라즈마 장비 해석 기술
기술완성도(TRL) TRL4
주발명자 권득철
출원번호 10-2020-0049306 출원일 2020-04-23
등록번호 10-2299463 등록일 2021-09-01
연구분야 플라즈마 모델링 및 시뮬레이션
관련 특허번호 10-2020-0049306pdf10-224257210-2020- 003632910-2020- 0049307
기술개요 • 본 기술은 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 계산하여 플라즈마를 진단할 수 있는 방법을 제공함.
• 플라즈마 장비 내에서 발생하는 물리화학 반응 데이터를 시뮬레이션할 때 계산효율과 정확도, 속도를 높일 수 있는 방법을 제공함.
기술적 개선점 • 플라즈마 장비 내에서 생성되는 이온의 온도를 비교적 측정이 용이한 플라즈마 변수를 측정한 후 공간 평균한 이온 온도 방정식을 풀어 계산함으로써, 종래 측정이 용이하지 않던 이온 온도에 대한 해석이 가능함.
• 플라즈마 장비 특성을 분석하기 위해 플라즈마 시뮬레이션 수행 시 고려해야 하는 반응과 종을 최소화하여 계산효율을 높이고 계산시간을 감소시키는 방법을 제공함.
• 또한, 플라즈마 입력데이터에 대한 오류를 확인하여 사용자에게 입력 오류 내역을 제공할 수 있는 방법과 플라즈마 시뮬레이터에서 반복 계산 중 플라즈마 수렴성을 확인하면서 전자가 흡수한 파워를 계산하는 모듈의 호출 여부를 결정하여 계산속도를 향상시키는 방법을 제공함.
시장전망 • 세계 반도체 시장은 수요 둔화와 단가 하락으로 주춤하였던 2019년에 비하여 서버와 모바일 수요 상승으로 무선통신 산업과 글로벌 기업의 온라인 서비스 주도권 확보에 기여하면서 다시 시장의 수요가 상승하기 시작함.
• 2021년 이후의 세계 반도체 시장 또한 지속적으로 상승하고 있으며, 국내 반도체 시장의 경쟁력 강화를 위하여, 기존의 엔지니어 경험에 의존하던 개발방식에서 벗어나 시뮬레이션 기반 장비 설계 기술의 필요성이 대두됨.
기술사진 및 설명1
기술사진 및 설명2
응용분야 • 플라즈마 장비의 진단 및 해석
• 플라즈마 장비 시뮬레이션
예상설비구축비용 설비 및
이전예상소요시간
6개월
참고 자료 pdf2-15_모델링시뮬레이션_기반_공정용_플라즈마_장비_해석_기술.pdf
기술문의 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr