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| 기술명 | (1-9) 고효율 플라즈마 발생장치 | ||
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| 기술완성도(TRL) | TRL6 | ||
| 주발명자 | 신동훈 | ||
| 출원번호 | 10-2020-0098546 | 출원일 | 2020-08-06 |
| 등록번호 | 10-2255874 | 등록일 | 2021-05-18 |
| 연구분야 | 플라즈마 환경기술 개발 | ||
| 관련 특허번호 |
10-2020-0098546 10-2255874
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| 기술개요 | • 플라즈마 토치로부터 발생된 플라즈마의 볼륨을 증가시킬 수 있는 플라즈마 발생장치에 관한 기술 • 아크 플라즈마 토치에 전자파 히팅을 통해 같은 파워 대비 볼륨을 확장시킬 수 있음 |
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| 기술적 개선점 | • 플라즈마 토치로부터 발생된 플라즈마의 일축을 전자파로 가열함으로써 플라즈마의 볼륨을 증가시킬 수 있음 • 동일한 전력을 사용하면서 볼륨이 확대된 플라즈마를 얻을 수 있어, 기존 플라즈마 토치 대비 에너지 사용의 효율성을 향상시킬 수 있음 • 전자파 기술을 적용한 하이브리드 플라즈마 기술로써, 단일 플라즈마 소스의 단점을 보완하여 산업 전반 활용도가 높고, 아크 플라즈마의 파워를 낮추면 전극의 수명이 길어져 경제성 확보도 가능함 |
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| 시장전망 | • 세계 반도체용 가스 스크러버 시장은 2022년 11억 5,850만 달러 규모로, 2023년부터 2029년까지 연평균 15.84%로 성장하여 31억 5,125만 달러에 이를 것으로 전망됨 • 특히 아시아 태평양 지역은 2022년 기준 전체 시장의 80% 이상의 점유율을 차지하여 가장 큰 시장이며, 2023년 규모는 10억 3,482만 달러에서 2029년 25억 7,711만 달러에 이르며 연평균 16.42%로 빠른 성장률이 예상됨 |
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| 기술사진 및 설명1 |
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| 기술사진 및 설명2 |
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| 기술사진 및 설명3 |
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| 응용분야 | • 반도체, 디스플레이 제조공정 폐가스 처리 (스크러버) • 난분해성 유해가스 분해 • 높은 온도 및 큰 볼륨의 플라즈마 필요 분야 |
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| 예상설비구축비용 | 설비 및 이전예상소요시간 |
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| 참고 자료 |
(1-9)_고효율_플라즈마_발생장치.pdf
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| 기술문의 | 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr | ||
