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| 기술명 | (2-5) 대면적 고밀도 플라즈마 발생장치 | ||
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| 기술완성도(TRL) | TRL4 | ||
| 주발명자 | 장수욱, 노태협 | ||
| 출원번호 | 10-2022-0113477 | 출원일 | 2022-09-07 |
| 등록번호 | 등록일 | ||
| 연구분야 | 플라즈마 발생원 개발 | ||
| 관련 특허번호 |
10-2022-0113477 10-2022-011347710-2022-016650010-2022-016684910-2022-011358610-2023-0047939
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| 기술개요 | • 본 기술은 고밀도, 고온, 대면적 자화 플라즈마 발생이 가능한 공진 도파관에 의한 플라즈마 발생장치에 관한 기술임. • 복수의 튜너를 이용하여 플라즈마 균일도 조절이 가능하며, 고전력 전달이 가능한 플라즈마 발생원 장치를 제공함. |
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| 기술적 개선점 | • 기존 일방향의 긴 트랙 형상의 타원형으로 형성되는 전자기파 플라즈마 발생원은 길이방향으로 균일한 파워 인가가 어려워 균일도 있는 대면적 플라즈마 생성이 어려운 문제가 있음. • 본 기술은 도파관 직접 결합구조를 이용하여 고전력 전달이 가능하고, 여러 개의 슬롯을 통해 플라즈마 챔버 내에 고밀도 및 균일도가 유지되는 대면적의 플라즈마를 생성할 수 있음. • 본 기술을 통해 고밀도 (1012 cm-3), 고온 (전자온도 5 eV), 대면적 (~1800 mm) 자화 플라즈마 발생이 가능함. |
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| 시장전망 | • 한국을 대표하는 산업 중 하나인 디스플레이 사업은 비정질실리콘을 기반으로 한 TFT-LCD와 저온폴리 실리콘 기반의 소형 AMOLED를 중심으로 지속적으로 성장하여 왔음. • 현재 디스플레이 산업의 위상을 유지하며, 경쟁력을 확보하기 위해서 AMOLED 이후의 차세대 디스플레이에 대한 연구와 투자가 강화되고 있음. • 실리콘을 기반으로 한 TFT-LCD/AMOLED 이후의 차세대 디스플레이의 중심은 Plastic AMOLED를 포함한 초고해상도 디스플레이가 될 것이며, 현재 소형 Plastic AMOLED의 한계를 넘어서 새로운 시장인 웨어러블 디스플레이로서 AR/MR용 초고해상도 (최소 1,000ppi 이상) Flexible AMOLED 기술은 향후 디스플레이의 주력제품이 될 것으로 예상됨. |
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| 기술사진 및 설명1 |
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| 기술사진 및 설명2 |
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| 기술사진 및 설명3 |
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| 응용분야 | • 고해상도 AMOLED 디스플레이 패널 제조 • 반도체 및 전력소자 제조 • 구리 식각 및 그래핀 증착 |
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| 예상설비구축비용 | 설비 및 이전예상소요시간 |
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| 참고 자료 |
(2-5)_대면적_고밀도_플라즈마_발생장치.pdf
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| 기술문의 | 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr | ||
