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| 기술명 | (1-6) 에너지 절감형 플라즈마 - 촉매 Hybrid Scrubber | ||
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| 기술완성도(TRL) | TRL7 | ||
| 주발명자 | 홍용철 | ||
| 출원번호 | 10-2012-0014308 | 출원일 | 2012-02-13 |
| 등록번호 | 10-1734899 | 등록일 | 2013-11-28 |
| 연구분야 | 플라즈마 스크러버, 난분해성 폐가스 분해, 환경오염 정화 | ||
| 관련 특허번호 |
10-2012-0014308 10-173489910-180401310-157497410-1556531
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| 기술개요 | • 고온의 대기압 열 플라즈마(마이크로웨이브 플라즈마 토치)와 촉매를 복합하여 플라즈마와 촉매 기술의 단독 사용에 비해 처리 효율이 높고, 사용 에너지가 낮아 에너지 절감형 스크러버 구현이 가능하고, 저가형 촉매의 적용이 가능하여 사업화 가능성이 매우 높은 기술임. | ||
| 기술적 개선점 | • 가스 분해 과정에서 발생되는 입자들의 안정적인 회수가 가능한 기술임. • 촉매 반응기 내 입자들의 침착에 의한 촉매 성능 저하 문제 해결을 위해 반응기 구조 및 플라즈마 특성을 이용하여 개선함. |
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| 시장전망 | • 전 세계 반도체 제조장비 시장은 2020년 624억 달러에서 연평균 성장률 9.0%로 증가하여, 2025년에는 959억 달러에 이를 것으로 전망됨. • 국내 반도체 제조장비 시장은 2020년 128억 2000만 달러에서 연평균 성장률 8.9%로 증가하여, 2025년에는 196억 4000만 달러에 이를 것으로 전망됨. |
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| 기술사진 및 설명1 |
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| 기술사진 및 설명2 |
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| 응용분야 | • 반도체 식각 및 세정 공정 폐가스 처리 설비 • 폐냉매 가스 파괴 및 부산물 가스의 자원화 시설 • 하수종말 처리장 및 축산 시설의 악취 제거 설비 • 정유·화학 공정에서 발생하는 휘발성 유기 화합물 제거 설비 |
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| 예상설비구축비용 | 설비 및 이전예상소요시간 |
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| 참고 자료 |
1-6_에너지_절감형_플라즈마-촉매_Hybrid_Scrubber.pdf
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| 기술문의 | 성과확산실 안유섭 042-879-6235, yousub@kfe.re.kr | ||
