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| 번호 | 특허명칭 | 주발명자 | 출원번호/출원일/공고전문등록번호/등록일/공고전문 |
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| 424 | 기판 가장자리 또는 에지링의 식각 상태를 실시간 진단할 수 있는 플라즈마 기판 식각 장치 | 송재민 |
10-2020-0025413 10-2362418(2022-02-09)
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| 423 | 자동 운전 제어 가능한 전자파 플라즈마 토치 반응기 | 홍용철 |
10-2019-017881410-2357964(2022-01-26)
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| 422 | 플라즈마 스펙트럼 데이터의 보정 방법 및 이를 위한 스마트센서 | 송중호 |
10-2020-010445610-2330367(2021-11-18)
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| 421 | 스마트센서를 이용한 플라즈마 공정 제어 방법 및 시스템 | 송중호 |
10-2020-010445810-2335854(2021-12-01)
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| 420 | 비열 플라즈마를 처리한 활성수를 포함하는 분무경 재배용 조성물 | 송종석 |
10-2021-004614610-2332152(2021-11-24)
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| 419 | 수중 아크 방전 장치 | 유승열 |
10-2019-001484610-2322233(2021-11-01)
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| 418 | 플라즈마 진단 방법 및 장치 | 권득철 |
10-2020-004930610-2299463(2021-09-01)
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| 417 | 전도성 분말의 플라즈마 표면처리 장치 | 유승열 |
10-2020-000834110-2305666(2021-09-17)
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| 416 | 스마트 식품 저장시스템 | 김성봉 |
10-2019-009737310-2305970(2021-09-17)
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| 415 | 플라즈마 기반 나노구조물 형성방법 | 이승환 |
10-2018-013275910-2297890(2021-08-30)
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| 414 | 플라즈마-보조 전기화학 합성법에 의한 단분산 금속 나노파티클의 제조방법 | 이승환 |
10-2019-012627610-2292065 (2021-08-13)
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| 413 | 내부에 유로 포함 구조체의 밀폐 검사 방법 및 밀폐 검사장치 | 심희진 |
10-2019-013431810-2289636(2021-08-09)
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| 412 | 플라즈마에 의한 고농도 과산화수소 농축수 제조 방법 및 장치 | 윤성영 |
10-2019-009749710-2284720(2021-07-27)
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| 411 | 플라즈마를 이용한 악취 제거 장치 | 홍용철 |
10-2019-004502310-2274454 (2021-07-01)
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| 410 | 수표면에서 플로팅되는 부유전극을 이용하는 수표면에서의 수처리 시스템 | 전형원 |
10-2019-006460110-2267296(2021-06-15)
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| 409 | 이산화티타늄 광촉매 전극의 제조방법 | 이승환 |
10-2019-008912710-2272454 (2021-06-28)
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| 408 | 플라즈마 장비의 시뮬레이션 방법 및 장치 | 권득철 |
10-2019-013938910-2242572(2021-04-14)
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| 407 | 교류-구동 대기압 플라즈마를 사용하는 금속 나노파티클의 제조방법 | 이승환 |
10-2019-012627710-2258749 (2021-05-25)
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| 406 | 플라즈마 발생 장치 | 신동훈 |
10-2020-009854610-2255874(2021-05-18)
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| 405 | 비선형 결정체를 한 번 통과하는 분산 간섭계를 이용한 플라즈마 밀도 측정 장치 및 이를 이용한 플라즈마 밀도 측정 방법 | 이관철 |
10-2020-004910910-2253837(2021-05-13)
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